Vakuumpumpstand Halbleiterwerk
- Artikel-Nr.: SW10073
Zentralanlage mit 4 Schrauben-Vakuumpumpen je 460m³/h
Vakuumerzeugung für pick&place Anwendungen im Halbleiterwerk
Enddruck bis 5mbar (abs)
Pumpen sind wassergekühlt mit Kühlwasser-Überwachung
Montiert auf Schwingungsgedämpften Skid
Verrohrung mit Ventiltechnik für Vakuumleitung und Abgas
Drop-Out-Tank in Vakuumleitung zum Extrahieren von angesaugten Bauteilen
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