Vakuumpumpstände mit verschiedenen Wirkprinzipien

Im Folgenden stellen wir Ihnen die zwei am häufigsten verwendeten Systeme kurz vor.

Bei dem ersten System spielt die Drehkolbenpumpe die wichtigste Rolle. Sie erreicht einen sehr hohen Volumenstrom, benötigt aber zwingend eine Vorpumpe, da ihr Differenzdruck nicht höher als 80 mbar (kundenspezifische Auslegung) sein darf. Bei der Wahl der Vorpumpe stehen trockene (nahezu kontaminierungsfrei) oder ölgeschmierte Vakuumpumpen zur Verfügung. Bei dieser Kombination verbessert sich der Enddruck im Vergleich zur Vorpumpe um eine Zehnerpotenz, also auf ≤ 0,8 mbar.

Als weitere Variante gibt es die Turbomolekularpumpe, die zum Einsatz kommt, wenn ein sehr geringer Enddruck benötigt wird (maximal 1*10e-10). Die Turbomolekularpumpe arbeitet erst ab einem Druck von 2 mbar. Um diesen zu erreichen, wird wiederum eine Vorpumpe oder ein Vorpumpensystem benötigt. Das kann zum einen eine zweistufige ölgeschmierte Drehschiebervakuumpumpe oder zum anderen eine Kombination aus Drehschiebervakuumpumpe und Drehkolbenpumpe sein. Ist ein trockenes System notwendig, um Verunreinigungen im Prozess zu vermeiden (Ölrückdiffusion), benutzt man eine Scrollvakuum- oder Membranvakuumpumpe.

Die abgebildeten Vakuumpumpstände zeigen Beispiele für bereits gefertigte Vakuumpumpstände. Diese werden jeweils an die Kundenwünsche angepasst und sind keine Standardanlagen.

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Vakuumpumpstände mit verschiedenen Wirkprinzipien

Im Folgenden stellen wir Ihnen die zwei am häufigsten verwendeten Systeme kurz vor.

Bei dem ersten System spielt die Drehkolbenpumpe die wichtigste Rolle. Sie erreicht einen sehr hohen Volumenstrom, benötigt aber zwingend eine Vorpumpe, da ihr Differenzdruck nicht höher als 80 mbar (kundenspezifische Auslegung) sein darf. Bei der Wahl der Vorpumpe stehen trockene (nahezu kontaminierungsfrei) oder ölgeschmierte Vakuumpumpen zur Verfügung. Bei dieser Kombination verbessert sich der Enddruck im Vergleich zur Vorpumpe um eine Zehnerpotenz, also auf ≤ 0,8 mbar.

Als weitere Variante gibt es die Turbomolekularpumpe, die zum Einsatz kommt, wenn ein sehr geringer Enddruck benötigt wird (maximal 1*10e-10). Die Turbomolekularpumpe arbeitet erst ab einem Druck von 2 mbar. Um diesen zu erreichen, wird wiederum eine Vorpumpe oder ein Vorpumpensystem benötigt. Das kann zum einen eine zweistufige ölgeschmierte Drehschiebervakuumpumpe oder zum anderen eine Kombination aus Drehschiebervakuumpumpe und Drehkolbenpumpe sein. Ist ein trockenes System notwendig, um Verunreinigungen im Prozess zu vermeiden (Ölrückdiffusion), benutzt man eine Scrollvakuum- oder Membranvakuumpumpe.

Die abgebildeten Vakuumpumpstände zeigen Beispiele für bereits gefertigte Vakuumpumpstände. Diese werden jeweils an die Kundenwünsche angepasst und sind keine Standardanlagen.

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