Deposition Line R2R

Rolle-zu-Rolle-Anlage

Unsere Deposition Line R2R vereint Vakuum-Beschichtungstechnik und Blitzlampentemperung (FLA – Flash Lamp Annealing) in einer Anlage und ist für die Entwicklung industrienaher roll-to-roll-Prozesse konzipiert. Sie besteht aus einem Mehrkammer-Vakuumsystem, dessen Kammern über Tunnel miteinander verbunden sind und einen Rundumlauf ergeben. Die Kammern sind an einem Gestell aufgehängt und können bei Bedarf untereinander getauscht werden, um verschiedene Prozessreihenfolgen darzustellen. Als Substrate können Kunststoff- und Metallfolien mit einer Breite bis zu 180mm eingesetzt werden. Das Wickelwerk besteht aus mehreren angetriebene Walzen und wird mittels Bahnspannungs- und Bahnkantenmessung geregelt. In den Beschichtungskammern befinden sich wassergekühlte Walzen.

Als Prozessmodule sind UV-Blitzlampen, ein Infrarotstrahler, eine Mikrowellenquelle, ein Elektronenstrahlverdampfer sowie Magnetron-Sputterquellen verbaut. Auf Anfrage sind auch weitere Prozesse integrierbar. Zudem sind verschiedene Messeinrichtungen enthalten, um die Dicke der Beschichtung zu ermitteln.

Zur Anlage gehört außerdem die benötigte Vakuum-Pumpentechnik, die Prozessgas- und Kühlwasserversorgung sowie die Anlagensteuerung und die Leistungsversorgung für die Prozessmodule.

-          Mehrkammer-Vakuumsystem mit Verbindungstunneln

-          Vakuum-Enddruck 5x10^-7mbar

-          Ausgerüstet mit FLA-Modulen, Mikrowellenquelle, Magnetron-Sputtermodulen, Elektronenstrahlverdampfer und Infrarot-Strahler

-          Prozessgaslinien für reaktives Sputtern

-          Substratbreite bis zu 180mm

-          Wickelwerk mit gekühlten Walzen und Möglichkeit zum Umspulen

-         Bedienung über PC